那么電子廠采用哪種廢氣處理方法比較好呢？目前在電子行業中經常被使用的到的廢氣處理技術包括：液體吸收法、活性炭吸附法、燃燒法、低溫等離子法、催化燃燒法、生物分解法等，電子廠所產生的主要污染物為苯、甲苯、二甲苯丁酮、乙酸乙酯等有機廢氣，這也是PM2.5的來源之一。

針對電子行業VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬吸附劑，對化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90以上。沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區，使VOCs得到濃縮，再經脫附燃燒處理，去除效率可在98。但是相對來說投資就比較高了，有很多的企業無法接受動輒上百萬的廢氣處理投資。